电磁兼容半电波暗室主要用于替代无电磁波干扰的开阔试验场进行电磁辐射骚扰测量和电磁辐射敏感度测量。由于半电波暗室的测试环境需要模拟开阔试验场地的电磁波传播条件（即电磁波传播时只有直射波和地面反射波），故暗室尺寸应以开阅试验场的结构要求为依据，一般分为标准的10m法，5m法和3m法等。半电波暗室的种类很多，无论从功能上、结构形式上、材料选择上、安装形式上都有较大的差异。但是采用哪种方案，主要根据使用者需要的测试类型，被测物的空间尺寸、试验级别等。首先我们要明确测试频率范围，是作军标测试还是民标测试，是进行厂家内部预兼容及诊断测试，还是要进行第三方的认证测试；其次要明确被测对象可能占据的最大空间、试验室主要应用标准、自身的资金状况以及将来可能的扩展升级需求等因素，由此选择一个合适可行的试验场地和仪器设备的配置方案。
半电波暗室按尺寸及功能可分为3m法半电波暗室、5m法半电波暗室、10m法半电波暗室、CISPR25半电波暗室及军标半电波暗室。为保障电磁兼容相关测试项准确性，有配套的屏蔽室，按功能分为控制室、功放室、负载室、传导室等。